近日,江蘇省教育廳公布關于2023年度普通高等學校優秀本專科畢業論文(設計)評選結果的通知,由我院劉波課題組魏濤老師指導的功能材料專業1911班陳興旺同學畢業論文《鍺銻碲相變薄膜的激光直寫光刻特性研究》獲省優秀本科畢業設計(論文)一等獎。
該論文選題面向國家重大戰略需求,重點解決國家在半導體領域“卡脖子”的光刻材料,研究了鍺銻碲相變薄膜的激光直寫光刻特性,深入分析了材料結構和光刻機理,實現了鍺銻碲薄膜高性能濕法/幹法顯影,有力推動了環境友好型光刻材料研發及全真空環境的微/納功能結構制造,在光電子器件、微機電系統等領域具有潛在應用價值。
該論文研究獲得國家自然科學基金項目(62205231)資助,先後在國際期刊上發表學術論文3篇,申請國家發明專利2項,授權1項。2024年陳興旺同學考取中科院蘇州納米所碩士研究生。

